中国制造出最大面积中阶梯光栅 达国际领先水平

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　　科技日报长春11月11日电 (记者李大庆)11日，由中科院长春光机所研制的大型高精度衍射光栅刻划系统通过验收，标志我国大面积高精度光栅制造技术已达国际领先水平，结束了我国在此领域受制于人的局面。

　　衍射光栅(下称光栅)是一种具有纳米精度周期性微结构的精密光学元件，它在光谱学、天文学、激光器、光通讯、新能源等诸多领域中有重要应用。光栅面积大可获得高集光率和分辨本领，精度高可获得更好的信噪比。但是，同时将光栅做大和做精则是世界难题。我国战略高技术领域所需要的高精度大尺寸光栅受到国外严格限制，这成为制约我国相关领域技术发展的短板。

　　2008年，在中科院和财政部支持下，长春光机所启动大型高精度衍射光栅刻划系统项目，目标是研制一台刻划面积属世界之最、技术水平达国际领先的大型高精度衍射光栅刻划机。

　　光栅刻划机是制作光栅的母机，因部件的加工装调精度之难，运行保障环境要求之高，被誉为“精密机械之王”。据项目负责人唐玉国介绍，本项目研制的光栅刻划机，几乎所有关键部件都冲击世界极限水平，项目组突破了一系列核心高精度零件的加工制造技术。“经过8年攻关，我们攻克了18项关键技术，取得9项创新性成果，研制出一套大型高精度光栅刻划系统，并成功研制出面积达400mm×500mm的世界上面积最大的中阶梯光栅。”

　　项目验收组组长曹健林说，大型高精度光栅刻划系统以及大面积中阶梯光栅的研制成功，不仅打破了我国在该领域受制于人的局面，而且能帮助我国光谱仪器产业改变低端化现状，提升拓展国际市场的能力。