北京产刻蚀机通过工艺“大考” 仅12英寸28纳米

　　市民生活中离不开的手机上，都有一块小小的集成电路芯片。芯片上面各种各样的纹路，就是由刻蚀机刻出来的。记者日前从北京电控了解到，由其下属企业北方微电子公司自主研发的12英寸28纳米等离子硅刻蚀机，已经全面通过工艺验证。我国集成电路高端装备进一步加快了追赶国际水平的脚步，技术水平已经从2003年的“20年差距”缩短到“只差3年”。

　　28纳米，相当于人体一根头发的万分之一粗细。生产一块手机使用的电子芯片，一般需要18种机器设备、累计400多道工序，而刻蚀机就是其中的重要设备之一。

　　去年年末，北方微电子公司自主研发的这款12英寸28纳米等离子硅刻蚀机，全面通过中芯国际生产线全流程工艺验证，并获得客户订单，标志着中国集成电路高端装备国产化取得新的突破。

　　在北方微电子公司突破28纳米刻蚀技术前，国际上也仅美国和日本各有一家企业能够提供满足28纳米生产线的成熟设备。长期以来，高端刻蚀设备一直是制约我国集成电路产业发展的瓶颈，因此，北方微电子将28纳米硅刻蚀设备推向市场，标志着我国在高端集成电路装备领域，第一次实现与主流生产线的需求同步。(记者 刘宇鑫)